MEMS型加速度傳感器
加速度傳感器是一種能夠測(cè)量加速度的傳感器。通常由質(zhì)量塊、阻尼器、彈性元件、敏感元件和適調(diào)電路等部分組成。傳感器在加速過程中，通過對(duì)質(zhì)量塊所受慣性力的測(cè)量，利用牛頓第二定律獲得加速度值。MEMS加速度傳感器，利用硅微機(jī)械加工技術(shù)(MEMS)制造的加速度傳感器。
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詳細(xì)介紹
MEMS加工技術(shù)生產(chǎn)的加速度傳感器主要分為壓阻式和電容式。壓阻式加速度傳感器，具有頻率響應(yīng)特性好、測(cè)量方法易行、線性度好等優(yōu)點(diǎn)，其缺點(diǎn)是溫度效應(yīng)嚴(yán)重、靈敏度低，是利用硅材料電阻率的變化。
電容式加速度傳感器，是將被測(cè)加速度轉(zhuǎn)換成電容的變化來進(jìn)行加速度測(cè)量的，其基本特征是工作性能穩(wěn)定，溫度漂移小。
帶寬或頻率響應(yīng)是加速度計(jì)選擇中最重要的參數(shù)。如果加速度計(jì)的帶寬不包括您希望測(cè)量的運(yùn)動(dòng)，振動(dòng)或沖擊的頻率，您將無法獲得準(zhǔn)確的結(jié)果。頻率響應(yīng)規(guī)范顯示了整個(gè)頻率范圍內(nèi)靈敏度的最大偏差。通常將帶寬指定為相對(duì)于參考頻率靈敏度（通常為100 Hz）的公差帶。可以以百分比和/或dB為單位指定公差帶，典型的頻段為±5％，± 10％， ±1 dB甚至±3 dB。大多數(shù)數(shù)據(jù)手冊(cè)都會(huì)提供典型的頻率響應(yīng)曲線，以為用戶提供幫助。